噴霧涂膠機是多功能、使用簡便、靈活和高性能的同義詞。擁有完整系列的緊湊而易于使用的旋轉(zhuǎn)/噴霧涂膠設(shè)備，可滿足從經(jīng)濟型小批量實驗到300毫米高端量產(chǎn)的多種需求。旋轉(zhuǎn)涂膠機內(nèi)嵌了，這項技術(shù)專為富含溶劑和低擾動的涂敷 而設(shè)計，盡可能減少材料消耗。新先進涂膠系統(tǒng)針對晶圓鍵合技術(shù)和LED制造的需求而開發(fā)，它基于標準的生產(chǎn)型架構(gòu)。以上設(shè)備的報價都可以進行在線咨詢。獨立開發(fā)的涂膠技術(shù)采用革命性的光刻膠薄膜淀積方法，主要用于三維微結(jié)構(gòu)的制作?？梢栽谄教购推鸱盖偷谋砻嫔蠈崿F(xiàn)保形涂敷，光刻膠薄膜可以覆蓋起 伏600微米以上的臺階。